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真空直線電機平臺
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最后更新:2019-07-23
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生產企業(yè):北京慧摩森電子系統(tǒng)技術有限公司銷售部
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產品詳細介紹(1)、X軸有效行程:750mm ,Y 軸有效行程:750mm ,Z軸有效行程:150mm
(2)、X軸重復定位精度:≤+/-2um;Y軸重復定位精度:≤+/-2um;Z軸定重復定位精度:≤+/-2um
(3)、X/Y/Z軸最大速度:1m/s,加速度:1G;
(4)、負載:10KG
(5)、使用環(huán)境:真空度 10-7Torr
(6)、平臺基座采用金屬合金,精度高,外形美觀。
(7)、X軸(底座)、Y軸(中軸)和Z軸均采用真空直線電機驅動,運動特性好,技術成熟,系統(tǒng)穩(wěn)定。電機可以10 - 7托真空情況下正常使用。
北京慧摩森電子系統(tǒng)技術有限公司銷售部
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